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TURBO T系列双级旋片式真空泵产品特点 1.泵体内部采用耐腐蚀材料及工艺 2.内置主动防返油阀设计，可靠保障停机不返油 3.可调节气镇，方便不同工艺对水蒸气排出量的要求 4.更恒定稳...
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无油干式涡旋真空泵的检查与维护
1.无油涡旋真空泵为防止碎屑在泵中沉积，每天抽大气几次，每次3～5秒。 2.要注意高温，在泵足够冷却后，再进行检查与维护。停泵后立即维修可能引起...
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半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型
1、前言 在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异，因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类...
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真空系统的简单介绍及部分名词
真空系统其实就是真空机组的一个类似的称呼，真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备，它不见得有一些诸如散热器，冷凝器等等设备存在。而一般能称...
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